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工具测量显微镜
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奥林巴斯工具测量显微镜
奥林巴斯工具测量显微镜

产品型号:STM7
发布时间:2018-6-7 17:12:19
访问次数:220 次

工具测量显微镜-奥林巴斯工具测量显微镜介绍

测量显微镜STM7

明场图像暗场图像微分干涉图像

偏光图像

花岗岩精雕细琢而成的载物台基座加强了测量的可靠性

STM7-LFFEM 分析

为了进一步保证测量精度,STM7系列采用了一个配备花岗岩基座的高度耐用和防振动的镜架••。由于花岗岩的高稳固性,使测量可达到亚微米程度,同时确保有效地降低误差••。

作为高度测量的先锋,持续供给简略易操作的高精度3轴测量

主动反射,共聚焦主动聚焦系统光路

随着现代制作技巧日益小型化和精密化,高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量,而且Z轴方向的高精度测量也成为必须••。奥林巴斯成为首家成功开发了测量显微镜用采用主动反射¶••⊿共聚焦方法的主动聚焦系统的公司,以此响应了这种与日俱增的需求••。

严格的可追溯系统确保品德可靠

测量显微镜溯源系统

奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统把持测量显微镜的准确度••。并且在安装系统时奥林巴斯也供给了可追溯的校准服务••。

STM7在设计上非常器重易用性

供给合适您样品尺寸的载物台

常见问题

短测量行程无法满足较大样品的测量需求••。

目前为止,大型载物台在X轴方向供给了足够的测量行程,但是Y轴的行程仍然较小••。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴笼罩领域要短的Y轴行程,这样的做法费事费时,效率不高••。

由于可测量的领域窄,无法将数量较多的样品排列在载物台上,以实现一次性同时测量••。

STM7解决方案

共有四种奇特的正方形测量行程的载物台可供选用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100�mm,200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)••。 不管是大的样品还是小的样品,总有一款载物台会合适您要测量的样品••。

采用离合器系统可以在粗协调微调之间实现快速切换••。具备了这种切换功效之后,载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动,并且可以在XY平面上自由穿梭••。

300mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以供给雷同的测量行程,这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量,比如300 mm的晶圆和印刷电路板••。


STM7-CS50
50mm x 50mm
STM7-CS100
100mm x 100mm
STM7-CS200
200 mm x 200 mm

STM7-CS300
300 mm x 300 mm


应用雷同的显微镜进行低倍率和高倍率视察

常见问题

大部分传统的测量显微镜只可以专用测量物镜或专用金相物镜,无法同时满足多种视察请求••。

STM7解决方案

STM7可以通过安装一个测量物镜适配器应用测量物镜,而调换为物镜转盘后,便可应用金相物镜••。这意味着, STM7将金相光学系统和测量光学系统同时联合在一台测量显微镜中••。通过这种方法,无论是测量大型样品还是精致样品,或是表面高度差别大的样品,STM7系列都可以对应并协助用户选择合适的视察方法••。

测量物镜


由于测量物镜具有非常长的工作距离,因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候,无需担心物镜与样品之间产生接触••。此外,借助测量物镜的低倍率能力,可以一次视察到较大的视场••。

金相物镜

明场图像                                                    暗场图像


可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率视察能力••。更重要的是,在明场视察之外还可以对应暗场,偏光和微分干涉视察••。

手动调焦和电动调焦两种镜架可供选择

STM7系列包含手动调焦和电动调焦两个系列

聚焦把持供给手动型和电动型两种可选方案••。请根据样品和测量内容选择符合您需求的机型,而不需要考虑载物台的尺寸••。所有的镜架均内置Z轴线性标尺,各种型号STM7都可以对应3轴测量••。

手动Z轴调焦机型

手动Z轴调焦机型供给了精彩的成本效益——通过操作被广泛应用的调焦旋钮,可以快速的高低移动Z轴••。为测量具有各种高度样品的用户供给了方便••。

电动Z轴调焦机型

应用电动调焦装置可以大幅进步操作性,并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳••。粗微调焦的同轴旋钮设计使应用者可以以习惯的类似手动的方法进行操作,同时电动机型还可以配备主动聚焦单元••。

一个具有突破性设计的把持单元大幅提升了测量显微镜的操作性

常见问题

其他功效需要添置额外的操作单元••。操作者无法快速找到相应的操作单元,因而明显降低测量效率••。

众多操作装置和电源箱¶••⊿把持箱散布在主机的周围,占用了可贵的工作空间••。

STM7解决方案

操作装置

对于STM7系列,只要应用单一的操作装置能够履行几乎所有的测量显微镜操作,包含重置计数器¶••⊿照明把持¶••⊿调焦和主动聚焦等功效••。为了进步效率和方便性,您可以将装置放在任何想要放置的地位,并可以轻松地单手操作••。

把持箱

用于手动Z轴调焦机型:                          用于电动Z轴调焦机型:
STM7-HS手动操作装置                            STM7-MCZ电动操作装置



各个单元的电源和通信均被集成在一个单一的把持箱中••。即使是添加一些可选功效比如聚焦导航功效也不需要增长额外的电源装置,这样的设计可以大程度地减少占用工作空间••。大大进步了视察和测量效率的光源管理器

常见问题

传统测量显微镜应用的模仿旋钮调节方法不能实现光强的定量把持••。这样每次测量时的光强无法保持一致,导致测量值也产生变更••。应用传统测量显微镜时,每次切换物镜后都需要调节光强,这使得工作流程非常低效••。

STM7解决方案

能够定量控制光源亮度的数字式显示

STM7的光强可定量显示,这样就能保证始终在雷同条件下实行视察和测量••。

物镜切换时,无需手动调节光强

光强度管理器可以与编码物镜转盘配置配套应用••。带编码物镜转盘会主动辨认目前应用的物镜,联合光源管理器的预设值功效,可认为每个物镜注册照明方法和光强••。这样每当切换物镜后,可以主动调节光强和调剂照明方法••。象以前每次切换倍率后手动调节光强的操作,现在就可以省略了••。

5x物镜光强 5020x物镜光强 70100x物镜光强 120

可以放置在任意方便应用处所的可拆卸计数器,确保能随时迅速地检查测量成果和设备状态••。

常见问题

需要检查诸如照明状态等设备运行状以及测量成果时,因为是在不同单元上显示使操作变得非常繁琐••。

STM7解决方案

能一目了然确认当前状态的计数器

计数器带有显示设备状态和设置的唆使灯,可以简略的实现对设备当前设定状态的确认••。X¶••⊿Y和Z轴的zui小单位可以在0••。1 μm和1 μm之间切换,此外,还可以在毫米¶••⊿微米¶••⊿英寸和密耳之间切换显示单位••。可满足个性化需求自由放置的可拆卸式计数器无论是安装在镜架上还是放置在工作台上,可拆卸式计数器都可以根据用户的应用状态和应用习惯放置在适当地位••。当用户站着进行测量时,可以将计数器安装在和视察地位大致雷同高度的镜架一侧,以方便轻松的视察和检查成果••。当用户通过数码相机在显示器上进行视察和测量,或应用电动Z轴调焦机型时,只需将计数器和操作装置放在工作台上即可轻松地坐在椅子上进行作业••。

计数器安装在镜架上计数器放置在工作台上


主动聚焦系统具有精彩的重复性,实现更快¶••⊿更简略¶••⊿更准确的高度测量

常见问题

进行目视测量时,不同的操作者会测得不同的高度测量值••。此外,这种测量方法非常耗时,效率低下••。

STM7解决方案

具有优越的重复性¶••⊿简略且高度准确的聚焦系统••。通过将图案投影在视场领域内,由操作者确认高低图案的重合情况,奥林巴斯的聚焦导航系统实现了重复性高的高度测量操作••。普通的目测视察进行高度测量时,即使是看上去非常清楚的已经完整合焦的图像,也会涌现渺小误差••。而应用STM7的聚焦导航系统,只需匹配标记便可进行测量,因此减少了操作者的主观性对测量成果造成的影响••。

目视高度测量


聚焦导航系统


焦点下方焦点地位

焦点上方


主动聚焦的优势成绩快速¶••⊿高精度的高度测量

常见问题

进行目视测量时,不同的操作者得出的高度测量成果也会不一样••。

手动高度测量需要操作者重复进行移动载物台,应用旋钮调焦的操作,这使测量既耗时又低效••。

很难对渺小的物体聚焦,比如引线••。

STM7解决方案

专用主动对焦单元:精彩的再现性和聚焦速度

无论操作者的经验如何,应用STM7专用主动对焦单元均可以在较短时间内实现高度准确的高度测量••。即使是粗糙或倾斜的样品表面,利用主动反射¶••⊿共聚焦方法都可以实现稳固对焦,而小直径的激光,也能保证对渺小物体,比如引线的主动对焦••。

单次对焦模式

履行主动聚焦后,可瞬间完成从大致的聚焦状态转为视场中心的清楚对焦••。

追踪模式

启用具有特点的追踪模式后会随样品表面的高低起伏主动对焦,即使在移动工作台的情况下,也可以始终保持合焦状态••。这使得操作者在手不需要离开X和Y手柄的情况下也能实行视察,从而极大地进步了Z轴的测量效率••。

实现视察与测量领域拓展的配件

带编码物镜转盘

将编码物镜转盘与数码照相机配套应用可以在视察过程中在屏幕上显示物镜的放大倍率,以方便您记载倍率••。同时切换倍率时也能与软件中记载的校准值和光强连动调剂设置••。有明场物镜和明暗场物镜两种供您选择••。

MM6-EMO/正像单目镜筒

正立图像用单目镜筒••。可与MM6-OCC10×(带十字线的目镜)配套应用••。

STM7-FS/脚踏开关

实现了不需要用手进行数据传输,使操作者可以在手不离开X和Y手柄的情况下完成测量••。

SZ-LW61/白光LED照明单元

具有小型,轻便,应用寿命长,功耗低等特点••。此外,这款高性价比的LED照明单元也不会产生闪耀和亮度波动••。

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED环形照明装置+手动把持单元

SZX-RHS手动把持单元可以实现SZX2- ILR66反射LED环形照明装置的四段独立照明,并供给具有较高色温的清楚图像••。可以从13种模式中选择照明••。

旋转载物台,应用微调旋钮可以轻松实现对样品的平行对齐••。

STM7-RS100 用于STM7-CS100 100 mm×100 mm载物台

STM7-RS200 用于STM7-CS200 200 mm×200 mm载物台

STM7-RS300 用于STM7-CS300 300 mm×300 mm载物台

专为更先进测量而设计的系统

测量支撑系统

对于显示测量显微镜输出的数据和图像来说,看的越明确也就能更方便更快捷地应用和测量••。推动以更高精度实现复杂的测量正是开发全新奥林巴斯测量软件的原因所在••。该软件亦可与数码相机联合应用••。


测量显微镜STM7标准配置参数


小型镜架

中型镜架

大型镜架

光学系统

UIS2光学系统(无穷远校订)

显微镜    镜架

视察方法

BF/DF/DIC/KPO*1

反射/透射

反射/透射

照明系统

白色:用于反射光照明,绿色:用于透射光照明,功耗: 10 W

聚焦

电动/手动

手动 [手动型]

电动 [电动型]

行程

175    mm

145    mm*2

FOCUS    按钮: 粗移速度

8    mm/s [电动型]

微调焦速度 (可变)

800    µm/400 µm/200 µm/50 µm (旋转一周移动量) 4 档可选 [电动型]

测量高度上线

175    mm*3, 120 mm*4

145    mm*3, 90 mm*4


物镜

测量物镜/金相物镜

视察筒

正像单目镜筒,正像三目筒(100:0/0:100)

载物台

行程(mm)

50(X)x50(Y)

200(X)x200(Y)

300(X)x300(Y)

100(X)x100(Y)

测量精度(µm)

50mm行程:(3+L/50)

3+4L/200

3+6L/200

100mm行程:(3+2L/100)

计数器显示

轴数

3轴

单位

毫米/微米/英寸/密耳

小分辨率

0.1μm

外形尺寸

[手动型](    mm )

466(宽)x583(长)x651(高)

606(宽)x762(长)x651(高)

804(宽)x1024(长)x686(高)

[电动型]    ( mm )

466(宽)x583(长)x811(高)

606(宽)x762(长)x811(高)

804(宽)x1024(长)x844(高)

重量

[手动型]

约84kg


约277kg

[电动型]

约92kg


约284kg

备注

*1:    简易偏光视察
*2: 应用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时,可以将高度为100 mm或以下的样品放 置在光轴后方180 mm或以上距离的处所••。
*3: 采用金相显微镜应用的物镜
*4: 采用测量显微镜应用的物镜

可选配件

电脑¶••⊿专业工具测量软件¶••⊿相机

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